四(甲乙氨基)锆
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)ZIRCONIUMCAS NO:
175923-04-3分 子 量:
323.6333EC NO:
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中文名：四(甲乙基氨基)锆(IV) 外文名：Tetrakis (ethylmethylamino) zirconium (IV) 化学式：Zr[N(CH3)(C2H5)]4 分子量：323.63 CAS号：175923-04-3 沸点：81 °C 闪点：50 °F 密度：1.049 g/mL at 25 °C(lit.) 外观：黄色液体 存储条件：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
| 品名: | 四(甲乙氨基)锆 |
|---|---|
| 用途: | 四(甲乙基氨基)锆(IV)可在CVD、ALD、PEALD工艺中常用于生长ZrO2的前驱体，在45nm晶体管制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，是COMS和DRAM的high-k绝缘材料；可作阻变存储器的介质层前体；可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体；此外，还可用于制备特种陶瓷；制备桥联茂金属化合物的催化剂。 |
| 别名 | 四(乙基甲基胺基)锆(IV);四(甲乙氨基)锆 |